СКАСОВАНО! Всі разом (з другою групою включно) погоджуємося на наступний перелік тем, щоб не було різноголосся, яке може призвести до неприємних наслідків. - Системи прецизійного регулювання технологічних параметрів термічних установок;
- Формування плівок двоокису кремнію методом термічного окиснення кремнію;
- Легування напівпровідникових структур методом термічної дифузії;
- Фотолітографія;
- Іонна імплантація;
- Магнетронне розпилення.
|
